»ï¼ºÀüÀÚ°¡ EUV(±ØÀڿܼ±) ±â¼ú ±â¹ÝÀÇ ‘5³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤’À» °³¹ßÇß´Ù.
‘5³ª³ë °øÁ¤’Àº ¼¿ ¼³°è ÃÖÀûȸ¦ ÅëÇØ ±âÁ¸ 7³ª³ë °øÁ¤ ´ëºñ ·ÎÁ÷ ¸éÀûÀ» 25% ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, 20% Çâ»óµÈ Àü·Â È¿À² ¶Ç´Â 10% Çâ»óµÈ ¼º´ÉÀ» Á¦°øÇÑ´Ù.
ƯÈ÷ 7³ª³ë °øÁ¤¿¡ Àû¿ëµÈ ¼³°è ÀÚ»ê(IP, Intellectual Property)À» È°¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ±âÁ¸ 7³ª³ë °øÁ¤À» »ç¿ëÇÏ´Â °í°´Àº 5³ª³ë °øÁ¤ÀÇ ¼³°è ºñ¿ëÀ» ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.
|
|
|
¡ã »ï¼ºÀüÀÚ È¼ºÄ·ÆÛ½º EUV ¶óÀÎ Àü°æ(»çÁøÃâó: »ï¼ºÀüÀÚ 2019³â 3¿ù ÃÔ¿µ) |
»ï¼ºÀüÀÚ´Â 7³ª³ë¿Í 6³ª³ë ÆÄ¿îµå¸® °øÁ¤¿¡¼µµ ¾ç»êÀ» º»°ÝÈÇÏ°í ÀÖ´Ù.
¿ÃÇØ ÃÊ EUV °øÁ¤À» Àû¿ëÇÑ 7³ª³ë Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ½ÃÀÛÇßÀ¸¸ç, ÀÌ´Þ Áß¿¡ º»°Ý ÃâÇÏÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
6³ª³ë °øÁ¤ ±â¹Ý Á¦Ç°Àº ´ëÇü °í°´°ú »ý»ê ÇùÀǸ¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, Á¦Ç° ¼³°è°¡ ¿Ï·áµÇ¾î(Tape-Out) ¿ÃÇØ ÇϹݱ⠾ç»êÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
À̹ø Ãʹ̼¼ °øÁ¤ÀÇ ±â¹ÝÀÌ µÈ EUV(±ØÀڿܼ±) ±â¼úÀº ±âÁ¸ ºÒȾƸ£°ï (ArF)º¸´Ù ÆÄÀåÀÇ ±æÀÌ°¡ ªÀº EUV ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇØ, º¸´Ù ¼¼¹ÐÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ ±¸ÇöÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ Æ¯Â¡ÀÌ´Ù. ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â ÀÛ¾÷À» ¹Ýº¹ÇÏ´Â ¸ÖƼ ÆÐÅÍ´×(Multi-Patterning) °øÁ¤À» ÁÙ¿© ¼º´É°ú ¼öÀ²À» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ÃֽŠÆÄ¿îµå¸® »ý»ê½Ã¼³ÀΠȼºÄ·ÆÛ½º S3 ¶óÀο¡¼ EUV ±â¹Ý ÃÖ÷´Ü °øÁ¤ Á¦Ç°À» »ý»êÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÇöÀç °Ç¼³ ÁßÀΠȼºÄ·ÆÛ½º EUV Àü¿ë ¶óÀÎÀ» 2020³âºÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿ÇØ °í°´°ú ½ÃÀåÀÇ ¿ä±¸¿¡ ´ëÀÀÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷ºÎ Àü·«¸¶ÄÉÆÃÆÀ ¹è¿µÃ¢ ºÎ»çÀåÀº “»ï¼ºÀüÀÚÀÇ EUV ±â¹Ý ÃÖ÷´Ü °øÁ¤Àº ¼º´É°ú IP µî¿¡¼ ´Ù¾çÇÑ °Á¡À» °¡Áö°í ÀÖ¾î 5G, AI, ÀüÀå µî ½Å±Ô ÀÀ¿ëó¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î ³ôÀº ¼ö¿ä°¡ ¿¹»óµÈ´Ù”¶ó¸ç, “ÇâÈÄ¿¡µµ ÷´Ü °øÁ¤ ¼Ö·ç¼ÇÀ¸·Î ¹Ì·¡ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷À» À̲ø¾î ³ª°¥ °Í”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
<¹Ú½ÃÇö ±âÀÚ> pcsw@bikorea.net < ÀúÀÛ±ÇÀÚ © BI KOREA ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö > |