»ï¼ºÀüÀÚ°¡ 23ÀÏ °æ±âµµ ȼºÄ·ÆÛ½º¿¡¼ ‘»ï¼ºÀüÀÚ È¼º EUV ¶óÀÎ ±â°ø½Ä’À» ¿°í º»°ÝÀûÀ¸·Î ¶óÀÎ °Ç¼³¿¡ Âø¼öÇß´Ù.
|
|
|
¡ã »ï¼ºÀüÀÚ È¼ºÄ·ÆÛ½º EUV¶óÀÎ Á¶°¨µµ |
À̹ø¿¡ Âø°øÇϴ ȼº EUV¶óÀÎÀº 2019³â ÇϹݱ⿡ ¿Ï°ø, ½ÃÇè»ý»êÀ» °ÅÃÄ 2020³âºÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿¿¡ µé¾î°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
À̹ø ½Å±Ô¶óÀο¡´Â ¹Ì¼¼°øÁ¤ ÇÑ°è ±Øº¹¿¡ ÇʼöÀûÀÎ EUV(Extreme Ultra Violet, ±ØÀڿܼ±)Àåºñ°¡ º»°Ý µµÀ﵃ ¿¹Á¤À¸·Î »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÇâÈÄ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼¼°øÁ¤ ±â¼ú ¸®´õ½ÊÀ» À¯ÁöÇÏ´Â µ¥ ÇÙ½É ¿ªÇÒÀ» ÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷Àº °øÁ¤ ¹Ì¼¼È¸¦ ÅëÇØ ÁýÀûµµ¸¦ ³ôÀÌ°í ¼¼¹ÐÇÑ È¸·Î¸¦ ±¸ÇöÇÏ¸ç ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¼º´É°ú Àü·ÂÈ¿À²À» Çâ»ó½ÃÄÑ¿Ô´Ù. ±×·¯³ª ÃÖ±Ù ÇÑ ÀÚ¸® ¼ö ³ª³ë ´ÜÀ§±îÁö ¹Ì¼¼È°¡ ÁøÇàµÊ¿¡ µû¶ó º¸´Ù ¼¼¹ÐÇÑ È¸·Î¸¦ ±¸ÇöÇϱâ À§Çؼ´Â ±âÁ¸ ArF(ºÒȾƸ£°ï) ±¤¿øº¸´Ù ÆÄÀåÀÌ ÂªÀº EUV ÀåºñÀÇ µµÀÔÀÌ ºÒ°¡ÇÇÇÏ°Ô µÆ´Ù.
EUV ±â¼úÀÌ º»°Ý »ó¿ëÈµÇ¸é ¹ÝµµÃ¼ÀÇ ¼º´É°ú Àü·ÂÈ¿À²À» Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖÀ» »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ȸ·Î Çü¼ºÀ» À§ÇÑ °øÁ¤¼ö°¡ ÁÙ¾îµé¾î, »ý»ê¼ºµµ ȹ±âÀûÀ¸·Î ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù.
»ï¼ºÀüÀڴ ȼº EUV¶óÀÎÀ» ÅëÇØ ÇâÈÄ ¸ð¹ÙÀÏ, ¼¹ö, ³×Æ®¿öÅ©, HPC µî °í¼º´É°ú ÀúÀü·ÂÀÌ ¿ä±¸µÇ´Â ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå ¼ö¿ä¿¡ Àû±â ´ëÀÀÇÏ°í, 7³ª³ë ÀÌÇÏ ÆÄ¿îµå¸® ¹Ì¼¼°øÁ¤ ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇØ ³ª°¥ °èȹÀÌ´Ù.
ȼº EUV ¶óÀÎÀÇ Ãʱâ ÅõÀÚ±Ô¸ð´Â °Ç¼³ºñ¿ë Æ÷ÇÔ 2020³â±îÁö 60¾ï´Þ·¯ ¼öÁØÀ¸·Î, »ï¼ºÀüÀÚ´Â ¶óÀÎ °¡µ¿ ÀÌÈÄ ½ÃȲ¿¡ µû¶ó Ãß°¡ ÅõÀÚ¸¦ ÃßÁøÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
Áö³ 2000³âµµ »ï¼ºÀüÀÚ È¼ºÄ·ÆÛ½º °³¹ß·Î ½ÃÀÛµÈ »ï¼ºÀüÀÚ¿Í È¼º½ÃÀÇ µ¿¹Ý¼ºÀåÀº À̹ø EUV ½Å±Ô¶óÀÎ °Ç¼³·Î ´õ¿í È®´ëµÉ Àü¸ÁÀÌ´Ù.
À̳¯ ±â°ø½Ä¿¡´Â ±ÇÄ¥½Â ±¹È¸ÀÇ¿ø(ȼº½Ãº´), Ȳ¼ºÅ ȼº½Ã ºÎ½ÃÀå, »ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹®Àå ±è±â³² »çÀå, ÆÄ¿îµå¸® »ç¾÷ºÎÀå Á¤Àº½Â »çÀå, Áö¿ªÁֹΠµî ¾à 300¸íÀÌ Âü¼®Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ DSºÎ¹®Àå ±è±â³² »çÀåÀº ±â³ä»ç¿¡¼ “À̹ø ȼº EUV ½Å±Ô¶óÀÎ ±¸ÃàÀ» ÅëÇØ È¼ºÄ·ÆÛ½º´Â ±âÈï·È¼º·ÆòÅÃÀ¸·Î À̾îÁö´Â ¹ÝµµÃ¼ Ŭ·¯½ºÅÍÀÇ Áß½ÉÀÌ µÉ °Í”À̸ç, “»ï¼ºÀüÀÚ´Â »êÇп¬ ¹× °ü·Ã ¾÷°è¿ÍÀÇ ´Ù¾çÇÑ »ó»ýÇù·ÂÀ¸·Î ±¹°¡°æÁ¦¿¡ ±â¿©ÇÒ °Í”À̶ó°í ¹àÇû´Ù.
ÇÑÆí »ï¼ºÀüÀÚ´Â ÆÄ¿îµå¸® 7³ª³ë °øÁ¤ºÎÅÍ EUV ±â¼úÀ» Àû¿ëÇϱâ À§ÇÑ ¿¬±¸°³¹ßÀ» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¼öÇàÇØ ¿ÔÀ¸¸ç, ±Û·Î¹ú °í°´°úµµ 7³ª³ë EUV °øÁ¤À» È°¿ëÇÑ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ Ĩ °³¹ß¿¡ Çù·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù.
<¹Ú½ÃÇö ±âÀÚ> pcsw@bikorea.net < ÀúÀÛ±ÇÀÚ © BI KOREA ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷±ÝÁö > |